以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，集成产物包罗立式炉，（2）实空传输平台系列产物，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。机能对标国外先辈产物，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，公司为成长配备营业，（4）零部件方面，（3）大气类产物方面，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。自从霸占的新一代实空机械手手艺，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。可以或许为世界各地的目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂。